Gewächshaus-Pilzbefeuchter

Gewächshaus-Pilzbefeuchter

Reinraumregelung zur Feuchteregelung

Die Bedeutung der Luftfeuchtigkeitsregelung und der relativen Luftfeuchtigkeit für den Reinraum: Die Luftfeuchtigkeitsregelung ist eine wichtige Voraussetzung für die Herstellung eines Reinraums. Die relative Luftfeuchtigkeit ist eine häufige Umgebungskontrollbedingung beim Betrieb von Reinräumen und Reinräumen.

Typische Zielwerte für die relative Luftfeuchtigkeit in Halbleiter-Reinräumen und -Reinräumen werden im Bereich von ca. 30 bis 50% geregelt, wobei Toleranzen in einem engen Bereich von ± 1% wie Lithografie oder bei extremer UV-Verarbeitung (DUV) berücksichtigt werden. Die Fläche ist eben kleiner und kann auf ± 5% des Restes gelockert werden.

In den letzten Jahren wurde der Prozess der Luftbehandlung in diesen vorgeschriebenen Bereichen aufrechterhalten. Die relative Luftfeuchtigkeit hat eine Reihe von Faktoren, die zur Gesamtleistung des Reinraums beitragen können, darunter:

1, Bakterienwachstum; 2, das Personal fühlt sich wohl Raumtemperaturbereich; 3, statische Aufladung; 4, Metallkorrosion; 5, Wasserdampfkondensation; 6, Lithographiedegradation; 7, Wasseraufnahme.

Bakterien und andere biologisch kontaminierte Schimmelpilze, Viren, Pilze und Blattläuse können sich in Umgebungen mit einer relativen Luftfeuchtigkeit von mehr als 60% aktiv vermehren. Einige Pflanzen können wachsen, wenn die relative Luftfeuchtigkeit 30% übersteigt. Wenn die relative Luftfeuchtigkeit zwischen 40% und 60% liegt, können die Auswirkungen von Bakterien und Infektionen der Atemwege minimiert werden. Die relative Luftfeuchtigkeit im Bereich von 40% bis 60% ist ebenfalls ein bescheidener Bereich, in dem sich Menschen wohl fühlen. Übermäßige Luftfeuchtigkeit kann zu Depressionen und unter 30% zu Trockenheit, Hautrupturen, Atembeschwerden und emotionalen Beschwerden führen.

Eine hohe Luftfeuchtigkeit verringert die statische Aufladung des Reinraums und der Reinraumoberflächen - ein Ergebnis, auf das alle hoffen. Niedrigere Luftfeuchtigkeit ist besser für Ladungsakkumulation und eine potenziell schädliche elektrostatische Entladungsquelle geeignet. Wenn die relative Luftfeuchtigkeit 50% übersteigt, beginnt sich die statische Aufladung schnell aufzulösen. Wenn die relative Luftfeuchtigkeit jedoch unter 30% liegt, können sie auf dem Isolator oder der nicht geerdeten Oberfläche für lange Zeit bestehen bleiben.

Eine relative Luftfeuchtigkeit zwischen 35% und 40% kann ein zufriedenstellender Kompromiss sein. In staubfreien Werkstätten und Reinräumen für Halbleiter werden im Allgemeinen zusätzliche Steuerungen verwendet, um die Ansammlung statischer Aufladung zu begrenzen. Die Geschwindigkeit vieler chemischer Reaktionen, einschließlich des Korrosionsprozesses, nimmt mit zunehmender relativer Luftfeuchtigkeit zu. Alle Oberflächen, die dem Reinraum und der den Reinraum umgebenden Luft ausgesetzt sind, werden schnell mit mindestens einer Monoschicht Wasser bedeckt. Wenn diese Oberflächen aus einer dünnen Metallbeschichtung bestehen, die mit Wasser reagieren kann, kann eine hohe Luftfeuchtigkeit die Reaktion beschleunigen. Glücklicherweise können einige Metalle wie Aluminium mit Wasser ein Schutzoxid bilden und weitere Oxidationsreaktionen verhindern. In einem anderen Fall, zum Beispiel Kupferoxid, ist es nicht schützend, so dass es hoch ist. In feuchter Umgebung ist die Kupferoberfläche anfälliger für Korrosion.

Es ist zu erkennen, dass die staubfreie Werkstatt strenge oder sogar strenge Anforderungen an die Luftfeuchtigkeit stellt, und der Luftentfeuchter löst dieses Problem bei der Luftfeuchtigkeitskontrolle gut. Der Luftentfeuchter kann die hohen Anforderungen an Temperatur und Luftfeuchtigkeit in der staubfreien Werkstatt grundsätzlich lösen.

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